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    半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例

    2024-09-21 14:00:16  來源:SH

    半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例

    在半導體、光伏、實驗室、科研等領(lǐng)域中,特氣系統(tǒng)是的,而特氣系統(tǒng)又是由各種氣體裝置構(gòu)成。通常所使用的氣瓶氣罐容器所貯存的氣體壓力高達15MPa左右,這種高壓氣體分道充填于管路系統(tǒng)中,遠遠超出了使用壓力范圍,這時候,我們 就需要減壓器。減壓器能使輸入的高壓氣體減弱到實際應用的壓力范圍,以便制程正常應用。

    01 半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例 氣體的介質(zhì)和純凈度

    關(guān)于氣體純度,通常情況下,如果氣體是5個9,我們會推薦使用不銹鋼材質(zhì)。如果大于5個9,我們會推薦使用EP級不銹鋼材質(zhì)。這都是在考慮到氣體介質(zhì)和材料的兼容性基礎上進行選擇。我們經(jīng)常碰到,很多用戶對減壓器的價格抱有疑惑,今天我們列舉了眾多用戶關(guān)心的。
    大流量不銹鋼減壓器,采用活塞式減壓結(jié)構(gòu),輸出壓力穩(wěn)定,主要應用于輸出壓力高,使用流量又的場合,*大輸入壓力可達 6000PSi,*高輸出壓力可達4000Psi。由于鋼瓶內(nèi)的壓力較高,而現(xiàn)場氣焊和切割所需的壓力較低,因此需要使用減壓器將鋼瓶內(nèi)儲存的高壓氣體減少為低壓氣體,并確保所需的工作壓力從始至終保持穩(wěn)定?傊,減壓器是一種將高壓氣體減壓為低壓氣體并保持輸出氣體壓力和流量穩(wěn)定的控制裝置。

    半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例 減壓器的一些分類:

    1.介質(zhì):氧氣減壓器、乙炔減壓器、氮氣減壓器、空氣減壓器、氬氣減壓器、氫氣減壓器、氦減壓器、二氧化碳減壓器、丙烷減壓器、天然氣減壓器和具有腐蝕性的不銹鋼減壓器,

    2、功能:也可分為集中型和項目型;根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同,可分為單級和兩級兩種類型。

    3.工作原理:分為兩種類型:正作用型和反作用型。目前,國內(nèi)常用的壓力調(diào)節(jié)器有單級反應型和兩級混合型(級為正作用式、第二級為反作用式)。

    半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例

    序號

    品  名

    型 號 及 規(guī) 格

    單位

    數(shù)量

    單 價

    (元)

    金 額

    (元)

    閥體材質(zhì)及其它

    1

    減壓器

    氣體減壓器

    進口接口cga642,出口接口cga330

    進口壓力 0-10   MPA,出口壓力 0.4MPA

    進氣壓力表是16MPA, 低壓表是2.5MPA

    氣體:四氟化鍺,四氟化硅,六氟化鉬等氟化合物

    2

     

     

    316L不銹鋼閥體

    膜片哈式合金

     











    半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例結(jié)構(gòu)特點 Features
             活塞式減壓結(jié)構(gòu)
             *大輸入壓力:6000PSi
             *大輸出壓力:4000PSi
             母體螺紋:3/4” NPT(F)
             安全壓力:1.5 倍的*大輸入壓力
             適用溫度:-40°C 至74°C (-40°F 至165°F)
             內(nèi)泄漏率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
             CV 值:2.0
             重量:4.8 kg
             有面板和底板兩種安裝方式
     
    半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例材質(zhì) Materials
             母體:316L
               閥座:PCTFE,Vespel
             活塞:316L
    適用范圍 Typical Applications
             氣體分析測試
             實驗室
             石油化學工業(yè)
             電廠設備

    1. 半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例為什么價格相差巨大?

    舉個常見的情況來說,同樣是接在鋼瓶上用的氮氣減壓器,同樣的功能,不同的廠商的售價從幾十元到上千元的都有,這個價格相差之大,著實讓行外人驚訝,在購買,詢價時這其中的價差的”秘密“你或許會知道一點,但是可能只是冰山一角,下面我們來探究一下這座冰山的全貌。

    (1) 材質(zhì)原因:

    氣體減壓器主要分為黃銅材質(zhì)和不銹鋼材質(zhì)兩種,不銹鋼系列價格遠高于黃銅,很多人會奇怪銅材明明貴于不銹鋼為什么價格反而便宜,這其中主要是因為不銹鋼減壓器的加工成本遠遠高于銅材質(zhì)減壓器的加工成本。

    溫馨提示:不銹鋼系列因為加工工藝和材質(zhì)原因可以使用于一些腐蝕性氣體場合、潔凈要求高的場合以及一些色譜、質(zhì)譜、液相、原子吸收等儀器設備搭配使用,為客戶能夠提供更穩(wěn)定和更潔凈的使用要求。

    (2)品牌加成

    減壓器廠商品牌有高低之分,運營成本以及整體品質(zhì)把控成本增加體現(xiàn)在了產(chǎn)品單價上。

    (3)服務原因

    優(yōu)質(zhì)的公司無論何時何地都提供咨詢、選型和技術(shù)支持,這些服務或多或少一部分體現(xiàn)在了公司整體素質(zhì)和產(chǎn)品價格上。

    2. 半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例關(guān)于減壓器實際耐壓范圍和安全問題

    無論是銅材質(zhì)減壓器還是不銹鋼減壓器,它們的母體材料都是由棒料車出來,接頭也是,因此耐壓都能力非常的好,我們國內(nèi)常用鋼瓶壓力以氮氣、氧氣瓶為例,瓶內(nèi)壓力一般為12-15mpa左右,承受這個壓力是沒有問題的,而不銹鋼*高可承受40mpa(6000psig)的壓力,而在結(jié)構(gòu)設計上采用不銹鋼金屬膜片密封結(jié)構(gòu),上下蓋閥體采用防老化硬密封形式,采用特殊螺紋鎖住,深錐度螺紋進一步確保安全,閥體上蓋部分的細孔可以間接告訴使用者閥芯是否漏氣,間接提醒使用者注意使用情況,從設計上再一次加強了使用安全。

    3. 半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例關(guān)于減壓器使用年限和更換問題

    在規(guī)范使用無人為破壞的情況下,銅材質(zhì)的減壓閥一般為一年左右(閥內(nèi)有橡膠材質(zhì)配件,會老化同時受溫度溫差影響)。

    排除人為損壞和氣體雜質(zhì)堆積影響下,不銹鋼材質(zhì)的減壓器一般長達兩年以上,而裝在減壓器上的壓力表一般根據(jù)CMC計量標準和計量局檢驗建議有效期為一年,但是并不意味著壓力表到了一年時間就要更換,可依據(jù)使用方實際情況而定。

    了解了以上內(nèi)容,你認為你已經(jīng)足夠了解減壓閥了,可以為你的特氣系統(tǒng)選擇到合適的減壓器嗎?

    不,遠遠不夠。選擇合適的減壓器,我們還需要以下幾個數(shù)據(jù):

    氣體的介質(zhì)和純凈度

    關(guān)于氣體純度,通常情況下,如果氣體是5個9,我們會推薦使用不銹鋼材質(zhì)。如果大于5個9,我們會推薦使用EP級不銹鋼材質(zhì)。這都是在考慮到氣體介質(zhì)和材料的兼容性基礎上進行選擇。

    制程需要的流量

    要知道自己需要的流量,因為減壓器的流量,和壓力是有直接關(guān)系的!所以要知道減壓器的CV值。很多時候,客戶后面設備一開,輸出壓力表會下來很多,甚至直接下降到0位,這就是明顯的減壓器流量選小了。

    還有剛開始使用流量是夠的,后來不夠了,那是因為進氣壓力下降了,流量變小了。減壓器后的管道排空或者帶壓,流量都是不一樣的。所以計算流量的時候,要考慮到這些因素,要考慮條件下的流量。另外,不同氣體,分子密度不同,計算流量的參數(shù)也不一樣。

    關(guān)于接口

    通常情況下,接口的流量通過能力,要大于閥芯的通過能力。所以,轉(zhuǎn)接口,或者擴展接口,都要考慮到流量問題,還有壓力問題。接口也有多種規(guī)格,多個尺寸,有螺紋,卡套,焊接,VCR,法蘭等,這些都需要考慮到,確認清楚。

    還要考慮到拆卸方便;安裝方便,焊接的還要考慮耐溫,接頭承壓能力的情況等等;還有就是要考慮到進出氣方向,這點很多人會忽略,考慮不到。

    進出壓力

    減壓器讀數(shù)范圍,應該是在壓力表滿量程的1/3到2/3之間,這時候數(shù)值是*合適的,太大了的話,壓力表容易疲勞損壞;壓力太小了,又不太容易調(diào)整和讀。壓力還分靜態(tài)壓力和動態(tài)壓力,如果靜態(tài)壓力和動態(tài)壓力差太多,那就是流量選擇有問題,理想情況是動態(tài)和靜態(tài)差別不大。

    安裝方式

    安裝方式是非常重要的,這個要十分注意。首先減壓器尺寸,安裝位置確認清楚,面板安裝,底座安裝,管道支架安裝,箱體安裝等等。經(jīng)常在安裝過程中,遇到各種尺寸問題,事先都沒考慮到,極容易出現(xiàn)束手無策。精確的安裝,可以預先三維圖模擬組裝一下。

    減壓器是否帶壓力表

    減壓器是否帶壓力表,帶幾個壓力表,這都和設計方案有關(guān)系!通常接鋼瓶的,需要帶進出氣壓力表(高壓顯示鋼瓶氣體壓力,低壓顯示使用壓力),通常,接鋼瓶的減壓器,出口*好加一個開關(guān)閥,這樣更方便使用者操作。接管道的,高壓部分可以帶進出氣壓力表,末端減壓器可以只帶出氣壓力表。集成面板的,減壓器可以不帶壓力表,根據(jù)方案來,壓力表單獨分布,考慮全面即可。,將氣體鋼瓶中的高壓氣體減壓至實驗及工況所需的低壓氣體壓力,再經(jīng)過二級減壓閥及其他控制閥配合,使終端設備獲得持續(xù)穩(wěn)定的氣體供應。
     

    半導體實驗室CGA350氣體減壓器應用案例減壓閥安裝順序
    1、安裝減壓閥時應確定其連接規(guī)格是否與鋼瓶和使用系統(tǒng)的接頭相一致。減壓閥與鋼瓶采用半球面連接,靠旋緊螺母使二者吻合。因此,在使用時,應保持兩個半球面的光潔,以確保良好的氣密效果。安裝前可用高壓氣體吹除灰塵。必要時也可用聚四氟乙烯等材料作墊圈。
    2、緩慢打開鋼瓶瓶閥,切勿瞬間打開瓶閥!開啟瓶閥時,瓶閥的出氣口不準對著人。同時,操作者必須站在瓶閥的側(cè)面,不能站在正面和后面。緩慢開啟后測試鋼瓶接頭是否產(chǎn)生泄露,順時針擰動手輪調(diào)節(jié)絲桿,推動彈簧、膜片,將閥芯打開,高壓腔內(nèi)氣體經(jīng)過節(jié)流減壓達到客戶所需壓力。膜片采用Hastelloy C276材質(zhì),其閥芯采用一體式設計方便后期維護。
    3、減壓閥都裝有泄壓閥。它是保護減壓閥并使之安全使用的裝置,也是減壓閥產(chǎn)生故障的信號裝置。假如因為閥芯或其它原因,導致出口壓力自行上升并超過一定許可值時,泄壓閥會自動打開排氣。
    4、停止用氣時,應將減壓閥中余氣放凈,然后擰松調(diào)節(jié)螺桿以免彈性元件長久受壓變形。
    用氣人員必須做到遵守國家所有的關(guān)于壓縮氣體和低溫液體的儲存、使用和處理的法規(guī)。如果用氣人員對特定氣體相關(guān)屬性及危險不夠熟悉,則務必請與供應商聯(lián)系,以得到補充資料,確保能夠安全操作。


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    申弘閥門 先生
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