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集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例

2024-04-03 17:38:13 來(lái)源：SH

集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例

氮封裝置由供氮閥、泄氮閥、呼吸閥組成，供氮閥由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮閥由內(nèi)反饋的壓開(kāi)型微壓調(diào)節(jié)閥組成，通過(guò)氮封裝置精確控制。當(dāng)儲(chǔ)罐進(jìn)液閥開(kāi)啟，向罐內(nèi)添加物料時(shí)，液面上升，氣相部分容積減小，壓力升高，當(dāng)罐內(nèi)壓力升于泄氮閥壓力設(shè)定值時(shí)，泄氮閥打開(kāi)，向外界釋放氮?dú)猓构迌?nèi)壓力下降，降至泄氮閥壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，自動(dòng)關(guān)閉。當(dāng)儲(chǔ)罐出液閥開(kāi)啟，用戶放料時(shí)，液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)壓力降低，供氮閥開(kāi)啟，向儲(chǔ)罐內(nèi)注入氮?dú)�，使罐�?nèi)壓力上升，升至供氮閥壓力設(shè)定點(diǎn)，自動(dòng)關(guān)閉。
因?yàn)橐话愕某Ｓ脙?chǔ)水罐為了維持內(nèi)部與外部的壓力平衡，當(dāng)罐內(nèi)水量減少的時(shí)候，除非使罐子被不斷的壓縮，不然罐內(nèi)就會(huì)有空氣填入其中，維持外部與內(nèi)部的平衡，顯然在超純水的生產(chǎn)過(guò)程中，使空氣進(jìn)入是非常不理智的行為。常見(jiàn)的大氣中富含各種污染物質(zhì)，這類污染物質(zhì)雖然對(duì)人體的影響并不是很大，但是在高精度儀器面前，它們會(huì)時(shí)刻影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，讓數(shù)據(jù)出現(xiàn)不同程度的改變，特別是在電子級(jí)實(shí)驗(yàn)面前，微生物或者離子的影響都會(huì)使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)失效，所以采用氮封裝置能很好的保證儲(chǔ)水桶內(nèi)的水質(zhì)穩(wěn)定。

集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例

氮封裝置由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開(kāi)型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O，通過(guò)氮封裝置精確控制。當(dāng)水箱上游水泵開(kāi)啟，向超純水水箱補(bǔ)水時(shí)，水箱水位上升，氣相部分容積減小，壓力升高，當(dāng)水箱上部氣體空間壓力升于泄氮裝置壓力設(shè)定值時(shí)，泄氮裝置打開(kāi)，向外界釋放氮?dú)猓构迌?nèi)壓力下降，當(dāng)降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，泄氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。
根據(jù)貴司自來(lái)水的水質(zhì)指標(biāo)，該原水不宜直接作為貴公司清洗用水。因此必須對(duì)該原水進(jìn)行脫鹽處理。本項(xiàng)目推薦選用先進(jìn)、成熟、出水水質(zhì)穩(wěn)定、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定的反滲透脫鹽裝置作為系統(tǒng)的主脫鹽設(shè)備；系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用低、易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。反滲透水處理系統(tǒng)具有很好的經(jīng)濟(jì)性。
為保證關(guān)鍵設(shè)備反滲透裝置的長(zhǎng)期可靠穩(wěn)定運(yùn)行，則必須設(shè)置預(yù)處理系統(tǒng)，滿足反滲透膜（RO）進(jìn)水指標(biāo)：濁度<0.5NTU、SDI<4、余氯<0.1ppm。根據(jù)原水水質(zhì)，預(yù)處理系統(tǒng)由多介質(zhì)過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器、加藥系統(tǒng)及相關(guān)輔助設(shè)備組成。
當(dāng)水箱后級(jí)水泵開(kāi)啟，用戶端開(kāi)始用水時(shí)，液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)壓力降低，供氮裝置開(kāi)啟，向儲(chǔ)罐注入氮?dú)�，使罐�?nèi)壓力上升，當(dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。

集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例

序號(hào)	品名	型號(hào) 及規(guī) 格	單位	數(shù)量
1	氮封閥	氮封閥ZZYVP-II DN32 PN16 進(jìn)口壓力 0.3-0.6 MPA, 出口壓力1 KPA 法蘭連接	臺(tái)	2
2	泄氮閥	泄氮閥ZXD-16 DN32 PN16 起跳壓力2KPA 法蘭連接	臺(tái)	2
3	呼吸閥	呼吸閥GFQ DN32 PN16 正壓：3 KPA 負(fù)壓：-298PA 法蘭連接	臺(tái)	2
4	過(guò)濾器	Y型過(guò)濾器GL41H DN32 PN16 濾網(wǎng)100目法蘭連接	臺(tái)	2

三、集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例技術(shù)參數(shù)

公稱通徑(mm)	20			25	40		50	80		100	150
閥座直徑(mm)	6	15	20	25	32	40	50	65	80	100	125	150
額定流量系數(shù)Kv	3.2	5	8	10	20	32	50	80	100	160	250	400
壓力調(diào)節(jié)范圍	0.5～70 20～120 60～400 300～700 500～1000 KPa
公稱壓力PN	1.0、1.6 MPa
被調(diào)介質(zhì)溫度	80、200 ℃
流量特性	快開(kāi)型
調(diào)節(jié)精度	≤5%
允許壓降(MPa)	1.6				1.6		1.1	0.6		0.4
薄膜有效面積(C㎡)	200				280			400
允許泄漏量	符合ANSIB16.104—1976 IV級(jí)
閥蓋形式	標(biāo)準(zhǔn)型 (整體式)
壓蓋型式	螺栓壓緊式
密封填料	V型聚四氟乙烯填料、含浸聚四氟乙烯石棉填料、石棉紡織填料、石墨填料
閥芯形式	單座型閥芯

四、集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例結(jié)構(gòu)圖

五、集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例連接尺寸

公稱通徑(DN)		20	25	32	40	50	65	80	100	125	150
L		150	160	180	200	230	290	310	350	400	480
H	老型	105	117	120	139	144	188	208	220	268	278
H	精小型	52.5	57.5	75	75	85.5	92.5	100	110	142.5	158
H1		330	330	350	350	360	430	440	450	520	650
A		310								400

注：由于產(chǎn)品改進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新參數(shù)可能有一定變化，公司不另行通知，請(qǐng)咨詢公司技術(shù)部門(mén)索取新數(shù)據(jù)。

集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例安裝注意事項(xiàng)

（1）安裝前，檢查整機(jī)零件是否缺損與松動(dòng)，對(duì)管道應(yīng)進(jìn)行清洗，介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。
（2）為便于現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)與操作，閥四周應(yīng)留有適當(dāng)空間與設(shè)置旁路手動(dòng)閥，閥組安裝方案。
（3）閥門(mén)應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上，閥體與管道的法塵連接，要注意同軸度，并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過(guò)-25～55℃的場(chǎng)合使用
以上是如何保持超純水的水質(zhì)的方法，希望對(duì)您有所幫助。近幾年超純水設(shè)備在表面清洗、涂裝、電解行業(yè)、化工行業(yè)和太陽(yáng)能光伏行業(yè)的應(yīng)用也日趨廣泛。創(chuàng)洋公司生產(chǎn)的超純水設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域廣、出水水質(zhì)穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便，得到各行業(yè)的一致認(rèn)可。

1.集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例供氮裝置工作原理：
供氮裝置結(jié)構(gòu)如圖所示，將設(shè)在罐頂?shù)娜狐c(diǎn)的介質(zhì)經(jīng)導(dǎo)壓管引入檢測(cè)機(jī)構(gòu)(7)、介質(zhì)在檢測(cè)元件上產(chǎn)生一個(gè)作用力與彈簧(8)、預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力降低至低于供氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，平衡被破壞，使指揮器閥芯(6)打開(kāi)，從而使閥前氣體經(jīng)減壓閥(5)、節(jié)流閥(4)、進(jìn)入主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)上、下膜室，打主開(kāi)閥閥芯(2)、向罐內(nèi)充注氮?dú)�；�?dāng)罐內(nèi)壓力升至供氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，由于預(yù)設(shè)彈簧力，關(guān)閉指揮器閥芯(6)又由于主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)中彈簧作用，關(guān)閉主閥，停止供氮。
2.集成電路超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例泄氮裝置工作原理：

泄氮裝置結(jié)構(gòu)如右圖所示，該裝置采用內(nèi)反饋結(jié)構(gòu)，介質(zhì)直接經(jīng)閥蓋進(jìn)入檢測(cè)機(jī)構(gòu)(2)，介質(zhì)在檢測(cè)元件上產(chǎn)生一個(gè)作用力與預(yù)設(shè)彈簧(3)預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高于泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，平衡被破壞，使閥芯(1)上移，打開(kāi)閥門(mén)，向外界泄放氮?dú)�；�?dāng)罐內(nèi)壓力降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，由于預(yù)設(shè)彈簧力作用，關(guān)閉閥門(mén)。
氮封裝置主要用于保持容器頂部保護(hù)氣（一般為氮?dú)猓┑膲毫愣�，以避免容器�?nèi)物料與空氣直接接觸，防止物料揮發(fā)，被氧化，以及容器的安全。特別適用于大型儲(chǔ)罐的氣封保護(hù)系統(tǒng)。該產(chǎn)品具有節(jié)能環(huán)保、動(dòng)作靈敏、運(yùn)行可靠、操作簡(jiǎn)單和維修方便等特點(diǎn)。
純水儲(chǔ)桶*好安裝空氣過(guò)濾器，防止環(huán)境因素造成的污染。
儲(chǔ)水桶請(qǐng)勿放置在日光直射處，水溫上升，容易造成微生物繁殖。特別是半透明儲(chǔ)水桶，也會(huì)因?yàn)槿展馔ㄍ付斐稍孱惙敝场?br> 超純水取水時(shí)一定要將初期的出水放掉，以獲得穩(wěn)定的水質(zhì)。
取水時(shí)讓超純水順著容器側(cè)壁流入，盡量不要讓氣泡產(chǎn)生，可降低空氣污染。
長(zhǎng)時(shí)間不用純水時(shí)，應(yīng)將壓力儲(chǔ)水桶中的RO水全部放掉以防止污染。
公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設(shè)定,從0.5Kpa 至66 Kpa以下,介質(zhì)溫度溫度≤ 氮封裝置的供(泄)氮壓力設(shè)定方便,且可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行;氮?dú)鈮毫υO(shè)定范圍廣。氮封裝置主要用于儲(chǔ)罐頂部氮?dú)鈮毫愣ǹ刂疲员Ｗo(hù)罐內(nèi)物料不被氮化及儲(chǔ)罐安全。氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成。快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成。

儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí)，快速泄放閥迅速開(kāi)啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)，向罐內(nèi)充注氮?dú)�。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場(chǎng)壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa，壓力可按分段設(shè)定，從0.5Kpa 至66 Kpa以下，介質(zhì)溫度溫度氮封裝置的供（泄）氮壓力設(shè)定方便，且可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行；氮?dú)鈮毫υO(shè)定范圍廣，低至0.5Kpa

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