一、超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例

超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三個部分：超純水制造區(qū)(CUB部分);超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分);超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。其中超純水制造區(qū)是非常重要而且也非常復(fù)雜的部分，分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。預(yù)處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔(有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池);一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透;

超純水部分主要包括：MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。但是由于考慮到在向工藝線設(shè)備輸送高純水過程中，輸水管道會對水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，再加上超濾設(shè)備(UF)，以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

由于目前國內(nèi)對控制閥行業(yè)還沒有一個具體.統(tǒng)一的型號及命名。行業(yè)內(nèi)對該自力式調(diào)節(jié)閥的命名,都是各個企業(yè)自己的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。例:(自力式供氮閥.氮封裝置.供氮裝置.帶指揮器自力式壓力調(diào)節(jié)閥)等。帶指揮器自力式壓力調(diào)節(jié)閥屬于自力式閥門系列，利用介質(zhì)自身的壓力來控制閥門開關(guān)，采用先導(dǎo)閥結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，以閥后壓力為動力源，引入閥后壓力到指揮器膜片上以控制指揮器閥芯位置，改變流經(jīng)指揮器閥芯的介質(zhì)壓力和流量，使閥門后端壓力保持精確恒定。

該閥壓力設(shè)定靠指揮器上的壓力彈簧來實(shí)現(xiàn)，調(diào)節(jié)壓縮彈簧閥后壓力變大，反之則變小，操作簡單因而存在方便、便捷、比一般的直接取壓自力式壓力調(diào)節(jié)閥精度要高；一般用于儲罐氮封系統(tǒng)；調(diào)節(jié)和穩(wěn)定儲罐的氮?dú)鈮毫Γ�控制精度極其靈敏，控制精度閥后能達(dá)到0.0001MPa （100pa)運(yùn)行過程中壓力可以連續(xù)調(diào)節(jié),特別適合是控制微壓場合的工況。

氮封裝置由供氮閥、泄氮閥、 呼吸閥 組成，供氮閥由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮閥由內(nèi)反饋的壓開型微壓調(diào)節(jié)閥組成，氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O，通過氮封裝置精確控制。當(dāng)儲罐進(jìn)液閥開啟，向罐內(nèi)添加物料時，液面上升，氣相部分容積減小，壓力升高，當(dāng)罐內(nèi)壓力升于泄氮閥壓力設(shè)定值時，泄氮閥打開，向外界釋放氮?dú)�，使罐�?nèi)壓力下降，降至泄氮閥壓力設(shè)定點(diǎn)時，自動關(guān)閉。當(dāng)儲罐出液閥開啟，用戶放料時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)壓力降低，供氮閥開啟，向儲罐內(nèi)注入氮?dú)�，使罐�?nèi)壓力上升，升至供氮閥壓力設(shè)定點(diǎn)，自動關(guān)閉。

超純水系統(tǒng)是現(xiàn)在工業(yè)生產(chǎn)上使用非常頻繁的設(shè)備，由于在工業(yè)生產(chǎn)上對超純水的使用量非常大，一般的小型超純水機(jī)并不能滿足的事情，而超純水系統(tǒng)在這種時候就是用來提供大量生產(chǎn)用水。在電子行業(yè)生產(chǎn)制造過程中，由于電子設(shè)備對沖洗用水中金屬離子的含量要求非常高，基本還需要增加使用EDI電滲析技術(shù)才能將水中金屬離子去除掉。那么超純水系統(tǒng)只關(guān)注超純水制造水的部分就行了嗎?接下來我將為您介紹超純水系統(tǒng)的整體流程。

超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例工作原理
氮封系統(tǒng)由氮封閥、呼吸閥（含阻火器）、泄氮閥、緊急泄放裝置（泄壓閥、泄壓人孔）組成。
當(dāng)儲罐進(jìn)液閥開啟，向罐內(nèi)添加物料時，液面上升，氣相空間減小，罐內(nèi)壓力升高，當(dāng)罐內(nèi)壓力高于泄氮閥壓力設(shè)定值時，泄氮閥打開,向外界釋放氮?dú)�，�?dāng)罐內(nèi)壓力下降到泄氮閥壓力設(shè)定值時，泄氮閥自動關(guān)閉。
當(dāng)儲罐出液閥開啟輸出物料時，罐內(nèi)液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)氣相壓力降低，此時氮封閥開啟，向儲罐注入氮?dú)猓��?dāng)罐內(nèi)壓力上升至氮封閥壓力設(shè)定值時，氮封閥自動關(guān)閉。
當(dāng)?shù)�封閥和泄氮閥失靈時，此時呼吸閥替代氮封閥和泄氮閥起保護(hù)作用。
緊急泄放裝置是當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時向罐外呼出，避免儲罐因超壓而損壞。

二、超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例超純水系統(tǒng)

在超純水系統(tǒng)中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質(zhì)、又應(yīng)該做到經(jīng)濟(jì)合理。超純水系統(tǒng)中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超純水制造區(qū)預(yù)處理階段多采用PVC管或SUS304管。設(shè)備面管一般采用內(nèi)襯膠鋼管(SGPRL)，對于水泵等產(chǎn)生震動的動力設(shè)備周邊采用SUS304管;在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透(RO)之間，由于壓力高，所以須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0Mp法蘭。由于RO對水溫有一定要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應(yīng)采用SUS304管;在超純水制造階段，主流程一般應(yīng)采用SUS316管和CPVC管;拋光循環(huán)區(qū)主流程一般采用SUS316管(焊接連接，并要求雙面成型)和PVDF管。超純水回收管道采用CPVC管。

在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管;在純水制造過程中酸堿等加藥管線，應(yīng)采用耐沖擊PVC管;純水系統(tǒng)中使用的氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS304管，超純水拋光系統(tǒng)所用氮?dú)夤艿啦捎肧US316管;壓縮空氣系統(tǒng)在純水系統(tǒng)中作為氣動閥開關(guān)動力，一般采用SUS304管或SGP管，當(dāng)采用SGP管時進(jìn)入電氣盤前需加過濾器。相比傳統(tǒng)氮封系統(tǒng)裝置，金子產(chǎn)業(yè)利用自己的產(chǎn)品（恒壓呼吸閥），將呼吸閥和氣封裝置集成到一起的一體式產(chǎn)品，同時滿足氮封與呼吸的功能，體現(xiàn)出的優(yōu)勢：
1）由于不需要二次配管及控制配管，配管的空間較寬廣。
2）只要有呼吸閥儲罐上有空即可設(shè)置。
3）由于不需要二次配管及控制配管工程，可節(jié)省配管成本。
4）在現(xiàn)有的儲罐上設(shè)置時，不需要增設(shè)二次配管及控制配管的連接口。
5）因使用潔凈管件，結(jié)構(gòu)上很簡單，便于進(jìn)行拆解、點(diǎn)檢。

三、超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例超純水系統(tǒng)施工

超純水系統(tǒng)水站部分施工難度*大，其主要包括三個部分：設(shè)備的搬入及安裝，共用管架的制作安裝以及管道的安裝。設(shè)備的移入一定要注意編制詳細(xì)的設(shè)備吊裝方案，特別是對于超重、超大、易損設(shè)備，千萬不可以野蠻冒險施工。共用架臺的施工要注意兩個環(huán)節(jié)：

1、架臺與土建結(jié)構(gòu)連接處一定要堅(jiān)固，*好采用預(yù)埋鐵板。若因種種原因不能預(yù)埋，則應(yīng)用化學(xué)鉚栓固定在梁上，不應(yīng)使用一般的簡易膨脹螺栓。切不可用鐵板和簡易膨脹螺栓固定在樓板上；

2、整段管架一定要保持水平，以免管道與共架接觸部位由于應(yīng)力不均勻引起管道彎曲破損。水站的管道施工除CDA、氮?dú)饧盁峤粨Q器用的蒸汽或冷熱水管道可以按系統(tǒng)進(jìn)行施工外，其他站內(nèi)管道施工可分為兩大部分，即共架管道施工和設(shè)備周邊配管施工。開工初期兩部分可以同時進(jìn)行施工。當(dāng)共架直管段與設(shè)備本體配管完成之后，應(yīng)該從設(shè)備周邊管道向共架管道進(jìn)行連接配置，*終與共架管道相連形成封閉的管路系統(tǒng)。

超純水系統(tǒng)管道施工與其他一般動力管道施工有很大區(qū)別，它除了要保證管道系統(tǒng)的密閉性外，還有更加重要的一點(diǎn)，就是要在施工過程中一定要保證管道的潔凈。下面我就來談?wù)劤�純水系統(tǒng)中CPVC(氯化聚氯乙烯)和PVDF(聚偏二氟乙烯)管道特殊的施工工藝。

無需外加能源，利用被調(diào)介質(zhì)自身能量為動力源，引入壓力閥的指揮器以控制壓力閥的閥芯位置，改變流經(jīng)閥門的介質(zhì)流量，使閥門后端壓力（B型）或前端壓力（K型）保持恒定。ZZYP-16BII主要用在閥前壓力較高(0.2-0.8Mpa)而閥后力很低(0.5-100Kpa),例如50mmH20(水柱)的場合，ZZYP-16KII只用在泄氮裝置上,并且與供氮裝置配套使用。單獨(dú)使用時請用ZZVP閥代替。

1.氣體減壓

如閥前0.2-0.8MPa(高于0.8Mpa時閥前面應(yīng)加減壓閥)，閥后0.5-100Kpa。

2.氮封裝裝置

供氮和泄氮裝置上

□超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例特點(diǎn):

1.壓力設(shè)定在指揮器上實(shí)現(xiàn)，因而方便、快捷、省力、省時且可在運(yùn)行狀態(tài)下連續(xù)設(shè)定。

2.控制精確度比ZZY型自力式高1倍左右,故適合在控制精確度高的場合使用。

3.對同一臺閥而言，調(diào)節(jié)范圍比ZZY型自力式廣。

4.反應(yīng)特別靈敏,極小的壓力(如50mm水柱的壓力)或極小的壓力變化都可以感染出來。

5.減壓比特別大，例如閥前0.8Mpa,閥后50mmH2O,壓差比達(dá)1600 !

超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例

超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例零件材料

零件名稱材料：閥體：ZG230-Ni9Ti 、ZG1Cr18Ni9Ti 、ZG1Cr18Ni12Mo2Ti
閥芯：1Cr18Ni9Ti、Cr18Ni12Mo2Ti
膜片：丁腈橡膠夾增強(qiáng)滌綸織物

超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例主要技術(shù)參數(shù)

超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例規(guī)格及重量外形尺寸

超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例的安裝與維護(hù)：

1、閥門安裝：

　�。�1）安裝前須檢查產(chǎn)品型號、位號及規(guī)格是否吻合，檢查整機(jī)零件是否缺損與松動。

　�。�2）在安裝前，對管道應(yīng)進(jìn)行清洗，閥門入口處要有足夠的直管段，并配有過濾器。閥體與管道的法蘭連接，要注意同軸度。

　�。�3）閥門安裝前，應(yīng)先清洗管道。

　�。�4）安裝場地應(yīng)考慮到人員設(shè)備的安全，既便于操作，又有利于拆裝與維護(hù)。

　�。�5）閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上，不得已時可傾斜安裝，盡量避免水平安裝，閥自重量較大或有振動的場合，要用支撐架。

　　（6）介質(zhì)流動方向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。氣源應(yīng)干燥、無油。閥門應(yīng)在環(huán)境溫度-20~55℃場所使用。

2、超純水系統(tǒng)氮封閥三件套應(yīng)用案例維護(hù)：

　�。�1）清洗閥門：對清洗一般介質(zhì)，只要用水洗凈就可以。但對清洗有害健康的介質(zhì)，首先要了解其性質(zhì)，再選用相應(yīng)的清洗辦法。

　�。�2）閥門的拆卸：將外露表面生銹的零件先除銹，但在除銹前，要保護(hù)好閥座、閥芯、閥桿與推桿等精密零件的加工表面。拆裝閥座時應(yīng)使用專用工具。

　�。�3）閥座：密封面有較小的銹斑與磨損，可用機(jī)械加工的方法進(jìn)行，如損壞嚴(yán)重必須換新。但不管修理或更換后的硬密封面，都必須進(jìn)行研磨。

　�。�4）閥桿：表面損壞，只能換新。

　　（5）推桿、導(dǎo)向與密封表面的損壞：對反作用執(zhí)行機(jī)構(gòu)必須換新，而對正作用執(zhí)行機(jī)構(gòu)，可用適當(dāng)?shù)男蘩砗笫褂谩?/p>

　　（6）壓縮彈簧：如有裂紋等影響強(qiáng)度的缺陷，必須換新。

　�。�7）易損零件：填料、密封墊片與O型圈，每次檢修時，全部換新。閥芯、膜片必須檢查是否有預(yù)示將來可能發(fā)生的裂紋、老化與腐蝕痕跡，根據(jù)檢查結(jié)果，決定是否更換，但膜片使用期一般*多2-3年。

（8） 閥門組裝要注意對中，螺栓要在對角線上擰緊，滑動部分要加潤滑油。組裝后應(yīng)按產(chǎn)品出廠測試項(xiàng)目與方法調(diào)試，并在這期間，可準(zhǔn)確地調(diào)整填料壓緊力、閥芯關(guān)閉位置。